
Kísilþurrkur eru eitt mikilvægasta hráefnið í rafeindatækniiðnaðinum og eru aðallega notuð til að framleiða samþættar hringrásir, þétta, díóða og aðra íhluti. Samþættar hringrásir eru örsmáar hringrásir sem samanstendur af miklum fjölda grunnþátta eins og smára, þétta, viðnáms osfrv., Sem hægt er að nota í ýmsum rafeindatækjum eins og tölvum, samskiptabúnaði og skemmtanabúnaði. Hálfleiðari kísilþurrkur eru eitt af kjarnaefnum til að framleiða samþættar hringrásir. Stærð hálfleiðara kísilþurrkanna er skipt í 2 tommur (50,8 mm), 4 tommur (100 mm), 6 tommur (150 mm), 8 tommur (200 mm) og 12 tommur (300 mm) samkvæmt þvermálinu. Mismunandi kísilþurrkur og ferlar eru notaðir í samræmi við mismunandi hálfleiðara vörur.
Hálfleiðari kísilþurrkunarstærð
|
Kísilþurrkastærð |
Þykkt |
Svæði |
Þyngd |
Samsvarandi ferli |
|
|
2 tommur |
50,8mm |
279um |
20.26 cm² |
1.32g |
5um |
|
4 tommur |
100mm |
525um |
78,65cm% C2% B2 |
9.67g |
3um -0. 5um |
|
6 tommur |
150mm |
675um |
176,72 cm² |
27.82g |
0. 35um -0. 13um |
|
8 tommur |
200mm |
725um |
314.16 cm² |
52.98g |
90mm -55 mm |
|
12 tommur |
300mm |
775279um |
706.12 cm² |
127.62g |
28mm -3 mm |
Kostir í stórum stórum kísilþurrkum • Hægt er að framleiða fleiri flís á einni kísilþurrku: Því stærri sem skífan er, því minni úrgangur er við brúnir og horn, sem bætir nýtingarhlutfall Silicon-skífunnar og dregur úr kostnaði. Með því að taka 300 mm kísilskaftur sem dæmi er nothæft svæði þess tvöfalt hærra en 200 mm kísilþurrkur undir sama ferli, sem getur veitt framleiðni yfirburði allt að 2,5 sinnum fjölda flísar. • Bætt heildarnotkun kísilþurrkanna: Framleiðsla rétthyrnds kísilþurrka á kringlóttum kísilþurrkum mun gera nokkur svæði við jaðar kísilþurrkunarinnar ónothæf, en aukning á stærð kísilþurrkunar dregur úr taphlutfalli ónotaðra kantna. • Bætt búnaðargeta: Undir því skilyrði að grunnferlið flæði: Þunn filmuútfelling → Photolithography → etsing → hreinsun og aðrar grunnþróunaraðstæður eru óbreyttar, meðalframleiðslutími flís Framleiðslugeta fyrirtækisins er stækkuð.
Ferli og hálfleiðari vörur sem samsvara mismunandi stærðum af hálfleiðara kísilþurrkum
|
Hálfleiðari kísilþurrkur |
Ferli |
Semiconductor vörur |
Umsóknarmynd |
|
6 tommur og undir |
0. 35um og yfir |
Díóða, smári, thyristors osfrv. Ýmis stak tæki |
|
|
8 tommur |
9 0 nm ~ 0,35um |
Skynjara franskar, ökumannaflís, orkustjórnunarflís, RF franskar osfrv. |
|
|
12 tommur |
90nm og hér að neðan |
Örgjörvi, GPU, Geymsluflís, FPGA, ASIC, ETC. |
|













