❶ Spurning: Hvert er hámarksnotkunarhitastig fyrir hálfleiðara-gæða fágaðar sílikonplötur?
Svarið í tveimur tilfellum:
|
Atburðarás |
Hitastig |
Lýsing |
|
Framleiðsluvinnsla |
Allt að um það bil 1200 gráður |
Aðferðir eins og oxun, dreifing og glæðing eru framkvæmd við háan hita. Bræðslumark eins kísils er 1414 gráður og það er alveg stöðugt undir 1200 gráður |
|
Aðgerð tækisins lokið |
Yfirleitt ekki yfir 175 gráður |
Verslunarflokkur 0-70 gráður, iðnaðargráðu -40 ~ 85 gráður, bifreiða- / hergráðu allt að 150 ~ 175 gráður |
❷ Spurning: Hvers vegna er vinnsluhitastig fullunninna tækja miklu lægra en vinnsluhitastigið?
Þrjár meginástæður:
1.Öldrun margra efna
Flís er ekki bara úr sílikoni, hún inniheldur einnig málmtengingar (kopar/ál), einangrunarrafmagn og umbúðaefni. Hátt hitastig flýtir fyrir:
- Rafflutningur málma, sem leiðir til vírbrots
- Öldrun einangrunar rafefna, eykur lekastraum
- Mýking og bilun á umbúðum
2.Drift rafeiginleika
Færibreytur hálfleiðarabúnaðar eru mjög viðkvæmar fyrir hitastigi:
- Þröskuldsspennurek, rekstrarpunktur víkur frá hönnun
- Minnkun á hreyfanleika flytjanda, minnkun á frammistöðu
- Veldisaukning á lekastraumi, stjórnlaus orkunotkun
- Tímasetningarvillur, virknibilun í hringrás
3.Aflnotkun og áreiðanleiki
Samkvæmt lögum Arrheniusar,fyrir hverja 10 gráðu hækkun á hitastigi tvöfaldast bilanatíðnin um það bil. Nútíma flögur hafa nú þegar mikla orkunotkun og þegar það er blandað saman við-háhitaumhverfi verður hitaleiðni erfið, sem leiðir til mikillar styttingar á líftíma.
❸ Spurning: Er marktækt samband á milli þykkt kísilskúffu og hitaþol?
Mjög lítið samband:
- Fyrir vinnuhitamörk fullunnar vöru: Næstum óviðkomandi. Rekstrarhitamörkin koma frá umbúðum, málmtengingum og tækjahönnun og hafa lítil tengsl við kísilskífuþykkt.
- Þykk kísilskífa hefur í raun aðeins betri hitaleiðni. Háþróuð ferli framkvæma oft þynningu á bakhliðinni (malað niður í 100μm) til að bæta hitaleiðni, ekki vegna þess að þykkar oblátur skortir hitaþol.
- Fyrir framleiðsluferla: Þykk kísilskífur hafa meiri hitagetu, hægari upphitun og kælingu, en þurfa aðeins aðlögun á vinnslutímauppbót. Það hefur ekki áhrif á hitaþol og þykkar sílikonplötur þola enn 1200 gráðu háan hita.
Ályktun: Þykkt kísilskúffu hefur aðallega áhrif á vélrænan styrk, hitaleiðni og umbúðir, það hefur ekki áhrif á hitaþolsmörkin.
Yfirlit yfir helstu þekkingarpunkta
- Kísill sjálfur er mjög háhitaþolinn, 1200 gráðu hitastig er efri mörkin, með enn 200 gráðu mörk undir bræðslumarki.
- Það sem takmarkar rekstrarhitastig fullunnar vöru er ekki kísillinn sjálfur, heldur önnur efni utan kísilsins og rafeiginleikar tækisins.
- Þykkt hefur ekki áhrif á hitaþol, það hefur aðeins áhrif á hitaleiðni og vinnslutækni.
- Hitastig er númer eitt sem drepur á áreiðanleika hálfleiðarabúnaðar og hönnunarhitastig er stillt til að tryggja líftíma og stöðugleika.
