Botnhlið þunnfilmu smára (TFT) eru lykilþáttur nútíma rafeindatækja. TFT uppbyggingin samanstendur af hálfleiðara lagi, uppsprettu- og frárennslisskautum og hliðarskauti. Hliðarskautið er tengt við stýrirásina og virkar sem rofi smárasins.
Hliðarskautið er aðskilið frá hálfleiðaralaginu með einangrunarlagi, þekkt sem rafskautslagið eða hlið einangrunartækið. Rafmagnslagið skiptir sköpum við að ákvarða frammistöðu smárisins með því að stjórna styrk rafsviðsins sem myndast af hliðarspennunni. Val á efnum fyrir rafmagnslagið gegnir mikilvægu hlutverki við að framleiða hágæða TFT-tæki, þar sem það hefur áhrif á rafstöðugleika tækisins, hreyfanleika hleðslubera og skiptihraða.
Algengustu rafmagnsefnin fyrir botnhlið TFT eru kísildíoxíð (SiO2), kísilnítríð (Si3N4) og áloxíð (Al2O3). Hvert þessara efna hefur sína einstöku eiginleika og kosti. Til dæmis veitir SiO2 framúrskarandi rafafköst og hitastöðugleika, Si3N4 býður upp á mikla sundurliðunarspennu og vélrænan styrk, en Al2O3 veitir háan rafstuðul og mikinn hitastöðugleika.
Að lokum eru hliðarrafskautið og rafmagnslagið óaðskiljanlegur hluti af botnhliði TFT. Rétt hannað raforkulag sem uppfyllir frammistöðukröfur tækisins er afgerandi þáttur í að ná afkastamiklum TFT. Með áframhaldandi rannsóknum og þróun munu botnhliðar TFT-tæki halda áfram að leggja verulega sitt af mörkum til framfara nútíma rafeindatækni.
